21世纪经济报道记者骆轶琪广州报道

国际形势陡然发生变化，将半导体上游生态中不可或缺的工业气体行业推向关注热点。乌克兰为全球供应了接近70%比例的氖气，尽管氖气在半导体制程当中使用比重并不如其他产业，但仍为必要原物料。

而随着5G、新能源汽车等发展对半导体需求的不断加剧，虽然目前未见由此引发的明显供应难题，但行业普遍寻求多元供应商的背景下，相关能力国产化的进程就显得重要。

宏观来说，整个工业气体行业被细分为大宗气体和特种气体两大类，特种气体多为化学合成气体，大宗气体多为空气分离气体；根据用途差别又被分为电子气体（电子大宗气体与电子特种气体，以下简称“电子特气”）、医疗保健用气体、航天用气体等。但无论是大宗还是特气，都与半导体行业息息相关。

云岫资本相关人士向21世纪经济报道记者分析，氖气属稀有气体，是来源于空气中，通过空气分离进行提取，在行业中更多认为是和大宗气体相关。因此，此次国际形势变化更多反映了大宗气体相关的供应链稳定性问题。

“供应链风险是比成本更被国内半导体企业所看重，因此电子特气国产化进程更多是为了解决供应链风险问题。不仅是电子特气，电子大宗气体面临更紧迫的问题。”该名人士续称，虽然大宗气体应用在工业领域居多，但如果需要应用在电子领域，其纯度要求极高，起码是PPB级别（是普通气体的1000倍），先进半导体制程只能用PPT级别（比PPB级别再提升1000倍纯度）。

据了解，目前整个电子气体市场主要还是由海外企业占据更高份额，但细分来看，国内在电子特气领域存在一定后发优势。面临的突围方向还在于，国内尚未形成具备高附加值能力、有平台化能力的综合型电子气体供应公司。

海外巨头垄断

随着目前外部形势的不断变化，氖气的价格也在近期呈现不断上升态势。

前述云岫资本人士向记者分析，乌克兰的氖气出口量高为历史原因。“乌克兰在空气分离领域有很多基础工业支撑，具有大型空分装置。同时，相较于其他国家的空气分离系统，乌克兰在早期配套了提取氖气装置，因此全球市占率高。”

该名人士续称，相较于2014年，国内企业也在相关领域有所发展：邯钢、宝钢、中科富海均新增了大型氖氦精制装置，且部分企业新增粗氖氦提取装置。目前国内发展的难点在于，现有空分分离装置不提取氖气，需要找时间窗口改造空分装置。

“因此，氖气的供应会随国际形势变化降低，同时，半导体需求增长会造成气体需求端增加，会对氖气价格造成波动。”他续称。

氖气作为一种大宗气体只是冰山一角，总体来说，在半导体制造环节，电子气体是仅次于硅片/硅基材料的第二大市场需求所在，其在半导体材料市场占比约14%。

亿渡数据统计显示，全球工业气体行业发展历经200多年，整体呈稳步发展。2017年全球工业气体行业市场规模7202亿元，2021年增长至9432亿元，复合增长率为6.97%。

中国的工业气体行业较全球工业气体行业起步晚，但在国家政策推动、外资引入、高新技术发展等因素的影响下发展迅速。中国工业气体行业的市场规模由2017年的1211亿元增长至2021年的1798亿元，年复合增长率10.39%。预计到2026年中国工业气体行业的市场规模将达到2842亿元。

其中，由于电子特气可用于光刻、刻蚀、外延、掺杂等工艺中，是液晶面板、LED、光伏、生物医药、新能源、光纤光缆、航空航天等产业发展必不可少的关键材料，其国产化进程被愈发重视。

但目前来看，海外巨头公司被认为依然占据相对垄断的地位。

浙商证券指出，国内对于特种气体的需求于20世纪80年代随着国内电子行业的兴起而逐步发展，电子特气从生产到分离提纯以及运输供应阶段都存在较高的技术壁垒，市场准入条件较高。

反观我国，在发展的早期由于技术、工艺、设备等多方面差距明显，电子特气产品基本依赖进口。2017年，空气化工集团、液化空气集团、大阳日酸株式会社、普莱克斯集团、林德集团（后收购普莱斯克集团）等国外气体公司的在中国电子气体市场上份额占比仍然超过80%，国内气体公司市场份额占比仅12%。

国产化机会

行业数据显示，2019年全球电子气体的供应商营收排名在前十名中，仅一家为中国公司，排名前二十中也仅有三家。不过据材料联盟统计，国内电子气体制造企业的营业收入维持着较高增长态势，而在偏下游的应用市场如面板、光伏和发光二极管等，国内的产能在全球领先，因此国内在电子气体领域有较大提升空间。

“目前电子特气原料是大型化工企业供给，三大气体龙头公司林德、法液空、空气产品的定位领域是将特种气体原料纯化、分装和分散。空气产品公司的中国区电子特气业务已经剥离，林德和法液空在利润率偏低的电子特气市场份额不多。因此国内在特气市场有后发优势，同时国内有很多基础原料，是有机会做特种气体的。”云岫资本人士如此向记者分析。

当然目前还存在一定差距。前述人士续称，电子特气国产化以后，国内竞争非常激烈，主要以价格为导向。“相比之下，国内目前电子特气的种类相对单一，包括NF3、CF系列、氯气HCl等，在精密度、纯化和工艺方面要求相对简单，偏向生产技术难度相对低、量大的产品系列；而国际巨头的发展方向已经偏向对高附加值产品的垄断地位。”

具体到公司的发展进度，电子特气市场的龙头公司有华特气体、金宏气体、718特气等公司，每家都有自己的系列产品，不过做整体解决方案的不多。

浙商证券认为，特种气体制造工艺复杂，特种气体纯化是气体制造的主要技术壁垒；准确控制不同气体的配比精度是另一壁垒。同时还要面临客户认证时间久、供应商与客户粘性大；资质审查严格等壁垒。

该机构指出，随着中国通过国家集成电路产业投资基金撬动全社会资源对半导体产业进行投资和扶持，对电子特气也在积极布局。同时，国内其他电子气体公司抓住晶圆制造扩产的百年机遇，积极发展电子气体业务，争取打进国内新建晶圆厂的供应链。电子气体的国产化正在全面展开。尽管仍然与国际先进水平有差距，但中国已经有一批气体企业陆续突破了关键技术，各自在不同的单品气体产品上实现自主化。

另有电子气体产业公司统计，目前在电子特气方面，40%左右已经实现了本地化供应，30%左右开始了本地化供应推进，还有剩余30%左右没有实现本地化供应。

前述云岫资本人士则提到，在纯度要求极高的电子大宗气体领域，仍然被来自德、法、美等龙头公司垄断，由于其壁垒比电子特气更高，三大气体公司在中国的市占率超过90％。

“我们认为，目前国内缺少一家龙头的平台型电子大宗气体公司。当然，国内已有宏芯气体、广钢气体等公司开始切入电子大宗气体赛道。比如近些年成立的宏芯气体，核心团队均来自林德、空气化工、法液空等国际一流企业的电子气体业务部门，创始人白久曾任林德中国区电子事业部业务总经理，电子大宗气体国产化加速指日可待。”